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A profilometer used for 3 dimension measurement of micro-surface topography is presented. The instrument is based on the......
该轮廓测量仪的开发是根据了Michelson干涉测量原理,工作台以正交衍射光栅为位移标准器,采用直线电机和压电陶瓷(PZT)进行快速粗定位和......
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